透射电子显微镜分辨率高、放大倍数高，可以揭示物质内部的微细观结构，是人们了解、认识事物内部结构不可缺少的工具。观察透射电镜的最终目的是得到清晰、高质量的照片。

    要想摄制出一张高质量的TEM 照片，首先需要制备出合格的透射电镜样品。

    [制样原则]：a.简单；b.不破坏样品表面，如：避免磨样过程中产生的位错及离子减薄过程中产生的非晶现象等；c.尽可能获得大的薄区。

    [样品要求]：a.对电子束透明(电子束穿透固体样品的厚度主要取决于：加速电压和样品原子序数)；b.固体、干燥、无油、无磁性。

    1.粉末样品的制备：

    制备粉末样品的关键是要做好支持膜，并把粉末分散均匀、浓度适中。待支持膜干透了以后再装入电镜观察，以免在电子束的照射下，支持膜破裂。

    (1).在铜网上预先粘附一层很薄的支持膜；

    (2).根据粉末样品性质选择合理的分散剂；

    (3).通过超声将粉末分散均匀形成悬浮液；

    (4).采用滴样或者捞样方法将粉末溶液放置在铜网上面，并烘干；

    (5).确保粉末样品均匀分布在铜网上，并没有污染物；

    (6).用洗耳球轻轻吹铜网，保证没有易落粉末。

    2.块体样品的制备 ：

    金属薄膜、陶瓷样品在最终减薄以前，要尽可能磨得薄一些，最好在30um以下，不要超过50um。 

    (1).切取薄片可用线切割、金刚石砂轮片切割等；

    (2).通过手工研磨将金属试样研磨成厚度～0.05mm的金属薄片；

    (3).用冲片器将金属薄片冲成直径为3mm的小圆；

    (4).最终减薄，样品中心部分穿孔，穿孔边缘很薄，电子束能透过，其最终减薄方法包括电解双喷、离子减薄及FIB聚焦离子束法，其中电解双喷仅适用于导电材料；离子减薄仪易于控制，但速度较慢；FIB适用于半导体器件的切割。

    照相前，要调好电压对中、电流对中、亮度对中，消除像散，使物镜光阑孔与中心透射斑点同心。用5倍的双目镜协助，对图像聚焦。要选择亮度均匀的区域作为拍摄对象，尽可能使图像充满拍摄区域，把主要的观察对象放在荧光屏中心。FULL-HALF(全张-半张)转换旋钮要旋转到位，如果不到位，会出现图像分割不均现象，底片无法正常使用。

    薄膜样品用200kV加速电压，曝光时间一般是：明场2.5-5S;;暗场5-8S;衍射花样16-30S。拍摄明场时，如果荧光屏中有空白(图像没有充满荧光屏)时，曝光时间要按曝光表的指示值增加一档，实际上是减去空白处对亮度的贡献。

    粉末样品先用低档加速电压，烘烤一下支持膜，待支持膜稳定以后，再提高加速电压。只要亮度能满足要求，就应尽量采用低的加速电压。照相时，如果发现支持膜不稳定，不要急于拍照，以免照出的像不清晰。因为电镜像放大倍数达数万倍，尽管试样有很小的漂移，在照片中误差也会很大。

    装底片要戴手套，以免在乳胶面上留下指纹。要分清正反面，乳胶面朝上。底片过长时，要切掉多余部分以免底片夹中凸起;底片过短时，在底片夹中易掉出，不要使用。因为两种情况都使底片与底片夹接触不牢固，在照相过程中，有可能在从底片盒向底片接收盒的传输过程中，底片脱离底片夹，卡在某处，不仅这张底片报废，也影响后面的底片正常传输。新装入盒的底片必须经3-6H的预抽排气。

    配制显影液和定影液时，水的温度、溶水量要按说明书进行。在瓶中放置24H效果最佳。否则，底片药面起皱、脱落。陈旧的药液最好不用。如果发现一张底片上的两个视场显影时间不一致，应尽快使一半停显，另一半继续显影，或切开处理。如果局部影像显影太慢，可以用手指在局部按摩加热，使其尽快显影。定影时，底片之间容易吸在一起，要翻动几次。每张底片都透明了，就表明定影完毕。最后放在底片架上用水冲洗。在整个过程中，要轻拿轻放，避免划伤药面。晾干后即完成了底片(负片)的冲洗工作。印相过程与其它照片相同。